เมื่อต่อเครื่อง HPC 1100 เข้ากับเครื่องนับอนุภาค จะใช้สาหรับตรวจนับอนุภาคของก๊าซภายใต้ความดันสูง จากการออกแบบด้วยเทคโนโลยีใหม่ล่าสุด ทาให้เครื่อง HPC 1100 สามารถรองรับเครื่องนับอนุภาคที่มีความแม่นยาในระดับของการตรวจนับอนุภาคขนาดเล็กถึง 0.1 ไมครอน ภายใต้ความดันสูง (30-150 ปอนด์ต่อตารางนิ้ว) ไม่มีการสูญเสียของก๊าซที่สุ่มมาสาหรับตรวจนับอนุภาค

     ด้วยเสียงที่ค่อนข้างเงียบและขนาดที่เล็ก ทาให้เครื่องสามารถติดตั้งและใช้งานในสถานที่ที่มีพื้นที่จากัดได้ ตัวถังขอเครื่องทาจากสแตนเลสสติล ซึ่งทนทาน บารุงรักษาน้อย

 

Features

  • Supports 0.1µm at 1 CFM
  • May be Used with Any Inert Gas
  • Easy Set Up
  • Simple Installation
  • Front-mounted Flow Gauge
  • Intuitive User Control
  • Quiet Operation
  • Fast Purge and Cleanup
  • VCR Fittings Internally and Externally
  • Stainless Steel Construction

Benefits

  • Zero Gas Waste During Normal Operation
  • Output at Near Atmospheric Pressure
  • Low Noise
  • Small Footprint
  • Easy System Integration
  • 2 Year Warranty
  • International Sales and Service Support
  • Low Cost of Ownership

Application

  • Process Qualification
  • Semiconductor Process Monitoring
  • Flat Panel Process Monitoring
  • Process Trend Analysis

Specifications

Particle Size Range: 0.1µm or greater
Flow Rate: 1.0 CFM
Output Pressure: Near Atmospheric
Input Pressure: 30-150 psi
Compatible Gases: Nitrogen, Argon, Helium, CDA
Operating Noise Level:  
Enclosure: Stainless Steel
Wetted Materials: 316L Stainless Steel, Hastelloy, PCTFE
Dimensions: 5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]
Weight: 6 lbs (2.7 kg)

Accessories

Included: Sample Tubing; VCR seals; Nylon Nut and Ferrule Set
Optional: Additional Sample Tubing; 1/4-inch Female Coupling Body Fitting; Welded Stainless Steel In-Line 1/4-inch Filter (0.5µm, 2µm, 7µm, 15µm)